福建理工大学机械与汽车工程学院精密压抛设备与测量系统采购项目公开询价公告

　为更加科学合理地测定采购项目预算，现对我校机械与汽车工程学院精密压抛设备与测量系统采购项目进行公开询价。欢迎有资质和能力的潜在供应商针对本项目参与报价。现将有关事项公告如下：

一、询价内容

二、报价要求

1.各潜在供应商报价应包括完成本项目所需的全部费用,报价应以人民币为单位，并逐页加盖单位公章；

2.报价文件应包括：

　　（1）项目报价单及技术参数响应情况表；

　　（2）有效期内单位营业执照复印件；

（3）法定代表人身份证复印件；

（4）潜在供应商联系人及联系电话。

三、报价文件提交时间及方式

公告时间：五个工作日（2026年9月14日至2026年9月18日）

报价方式：潜在供应商可以向以下任一部门予以报价。请将报价文件密封并加盖公章后直接送达或邮寄方式提交，或通过邮箱方式予以报价。

提交报价截止时间：2026年9月18日17:00:00(北京时间)；

联系地址：福建省福州市闽侯县上街镇学府南路69号（350118）

联系人：1.机械与汽车工程学院：陈老师0591-22863232邮箱：bschen126@163.com

2. 经费主管部门：曾老师0591-22863085  邮箱：yjsc@fjut.edu.cn

3. 实验室建设与设备管理处：吴峻平0591-62185137 邮箱：sscglk@fjut.edu.cn

四、备注

1.本次公开询价‌仅用于编制项目预算的参考目的‌，不涉及后续招标、合同签订等采购程序，且‌不构成任何形式的邀约或承诺‌。供应商参与本次询价不代表其获得未来采购活动的优先权，采购方亦不因此承担任何法律责任；

2.本次公开询价仅为参考，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

特此公告！

福建理工大学机械与汽车工程学院

2026年9月14日

附件1-精密压抛设备：

一、粉体压制成型机：

1、设备概述：

1.1双向电动压制：

（1）通过将粉末类材料填充至中模型腔中，通过伺服马达带动上模、中模、下冲运动进行产品成型压制。

（2）压制时，因上冲采用伺服马达+丝杆直连、下冲采用伺服马达+减速机+丝杆直连，2个冲头可以单独调整位置、速度、活动时间从而实现双向压制，便于将每个产品台阶的密度调整到均匀一致。

（3）脱模时，可以根据产品结构，调节脱模顺序，保证产品不会产生暗裂（需模具精度配合）。

（4）压力重复精度：≤1%。

1.2操作界面：

（1）界面显示功能：压力值、保压时间、压制次数、实时压力曲线、成型速度、错误报警等。

1.3自动送粉机构：

（1）由粉筒、粉量检测传感器、伺服送粉模组组成。

（2）电机通过伺服模组，带动粉盒的前后运动送料，送粉精度根据粉体流动性而定。

（3）全程闭环防尘设计，粉筒加装防尘盖，送料盒底部加装耐磨胶条，紧贴母模板，防止粉末溢出。

1.4模具换装：装模空间较大，模架结构简单，采用模组化设计，模具安装方便，时间短。

1.5压制精度：

（1）采用高速控制器实现总线控制，设备响应速度快，精密伺服马达驱动，丝杠定位精度高，产品成型精度能达到≤0.02mm，重复精度都能达到≤0.005mm。

1.6高效率：

（1）转速（节拍）快，最快可达30转（次）/min（根据产品尺寸、工艺差异而定）；

（2）多功能I/O通讯接口；

（3）过该接口可以与外部设备通讯连接，方便全自动化整合。

1.7自诊断功能：设备发生故障，能显示错误信息，并提出解决方案。

1.8安全性：

（1）采用动作部件全封闭式，增加安全光栅，防重压检测等安全措施。

（2）系统设有防呆功能，排除误操作安全隐患。

1.9环保性：全封闭设计、无漏油、无漏粉，震动声音小，工作环境无污染。

1.10配套粉体材料前置处理液压机：粉体类材料预液压后成型，一体化设计，压力50T。

2，基本技术参数：

1.1设备适用产品对象：粉末冶金类产品成型；

1.2设备主要功能概述：通过将粉末类材料填充至中模型腔中，通过伺服马达带动上模、中模运动进行产品成型压制；

1.3基本参数：

（1）模架结构：上一下一（根据模具制作）；

（2）驱动方式：AC伺服马达+滚珠丝杆直线驱动；

（3）制御方式：CNC 3轴（上1轴、下1轴、料闸1轴）；

（4）设备重量：≤2T；

（5）设备外型尺寸（约）：970mm（L）*1000mm（W)*2700mm（H）±100mm；

（6）最大加压能力（保持力）：上模：10T，母 模： 3T；

（7）最大工作行程：上 模：150mm，母 模：70mm，给料器：110mm

（8）填充量：0.1-70mm

（9）成型速度1-20转/Min；

（10）成型精度：≤0.02mm；

（11）重复精度：≤0.005mm

（12）最大速度：每轴速度≥150mm/s

（13）产品取出方式：人工取出或自动取出

（14）充填抖料：0-3次（可调）

（15）料斗容量：单个12Lit

（16）料斗加料方式：人工加料

（17）使用伺服马达：上模：4.4KW+减速机，母 模：2.9KW+减速机，给料器: 0.75KW

（18）加压检测仪显示加压显示最小单位0.01Ton，过载保护6Ton压力保护

（19）压缩空气供应：5~8kgf清洁压缩空气

（20）给油方式：螺杆3轴 ， SR-N0.2 润滑脂润滑

（21）电源供应：电源: 3相380V/60安培

（22）设备能耗：接线功率12KW

（23）安全装置：安装感应前后安全护罩

（24）操作功能：设定内容可存储带有功能；可设定成型速度；地面离操作高度约1250mm；

（25）配套数字孪生软件功能：

▲支持机电产品设计辅助模块:需要具备电气原理图设计连接与运行仿真、动作设计连接与运行仿真、PLC设计连接与模拟编程仿真。软件需要图形化计，采用拖拽式布置；

▲机电产品设计辅助模块功能要求：设计绘图界面需要有组件选择工具，通过拖动元器件到绘图区却可生成对应组件；

▲机电产品设计辅助模块功能要求：设计一个三相电机控制仿真验证回路和一个气动控制控制回路，并使用软件进行运行模拟。

▲支持3D数字孪生系统功能：需要具备三维工业机器人孪生功能：工业机器人具备轨迹绘制示教功能；工业机器人具备自动更换夹具功能。工业机器人具备拾取物料功能；

二、复合振动系统：

1、功能描述：通过复合振动系统，提供多维度激振。

2、频率:39.5±3.5KHz;

3、标称功率:≥1200VA(一台发生器带3个振动头);

4、驱动电源:数控超声波发生器;

5、振幅输出:0-4um(无负载工作状态下);

6、运行中可以通过开关去实现单方向振动或者多方向振动；

三、超声波振动筛：

1、超声波控制仪：38KHz 高频超声波发生器。内置微电脑芯片，可根据超声波的不同状态进行全程数字频率自动跟踪；

2、高频连接线：超声波振荡器与超声波控制仪之间采用电缆连接；

3、转换器：高频超声波转换器件；

4、超声波网架：由外网架与共振环组成；

5、筛网：适用10目~635目；

6、出料口：两层筛网三个出料口

7、材质：接触物料304不锈钢，底座碳钢

8、电机：0.37KW 三相 380V

9、超声波系统2套

四、化学机械抛光试验机：

化学机械抛光试验机是在一定压力、转速、抛光液和抛光垫的综合作用下，通过化学和机械方式完成晶圆表面抛光，本设备可以抛光多种尺寸的晶圆和基板，并可以检测正压力、摩擦力、声发射信号等多种参数，以便研究整个抛光过程。

性能及技术指标：

1、主机结构

1.1 ★主机采用高强度落地式机身结构,机身内部操作空间不少于650mm x 600mm，机身具有封闭式外壳，整个测试区域都带有防护门和观察窗，要求安装地脚桩结构和万向轮，保证高稳定性和移动便捷性。

1.2 ★加载方式：带光电编码器的伺服马达闭环加载系统，能实时闭环控制加载力。能够在可视化操作软件中设置试验加载力值。
1.3 加载Z轴可自动移动以及手动移动，可通过软件操作以及手柄操作，最大移动位移150mm，分辨率0.25um，移动速度至少满足0.002到8mm/s。

2、样品台

2.1 ★ X-Y双向下载物平台，运动范围130mm*210mm，运动机构不与Z轴干涉。
★2.2 可实现“X-Y”双向线性往复运动，具有抛光自动对中及摆动磨抛功能，可在软件中自定义X-Y双向摆动范围及速度。
2.3 X方向线性往复：最大行程：130mm，位移分辨率0.025μm，速度0.001-8mm/s。X方向带自动位置控制，可控制抛光垫自动位移。
2.4 Y方向线性往复：最大行程：210mm，位移分辨率0.125μm，速度0.001-50mm/s。Y方向带自动位置控制，可控制抛光垫自动位移。

3、晶圆抛光监测传感器

3.1 ★正压力以及扭矩力学传感器：加载力测量量程：2-200N，分辨率: 6 mN；扭矩不小于6N.m，分辨率≤0.02N.m。

3.2 声发射传感器：响应频率：0.2到5.5 MHz

4、化学机械抛光测试模块

4.1 上旋转电动驱动抛光头转速范围：1到500rpm，软件中设置转速。

4.2 包含晶圆夹具及背膜。

4.3 可夹持晶圆尺寸：最大可到4英寸，可配2”，3”，4”实验片。
4.4 ★下驱动抛光垫系统，驱动转速范围：1到1000rpm，软件中设置转速。

4.5 配置抛光修复盘，用于修复盘的弹簧式加载适配器。自调平 4英寸修复环夹具。

5、进浆及排浆系统

5,1 配置抛光液供液泵及喷嘴以及去离子水泵及喷嘴。

5.2 抛光液流速可调可控。

5.3 带有去离子水清洗功能。

5.4抛光液收集系统。

6、控制系统：

6.1 ★多通道数据采集， 数据采集频率最高达200kHz

6.2控制软件和数据分析软件，软件控制抛光头和抛光垫运动并记录多种数据参数，可以进行多种数据对比分析，以便了解抛光过程。

6.3★具备软件中操作调试试运行功能，另外具备操作手柄操作功能。点击测试按钮一键开始自动测试并实时输出数据并保存数据功能。测试过程程序化控制，可新建或编辑测试菜单，可自定义测试参数、选择所需输出数据及数据采集率、可自定义测试步骤、可设置测试步骤循环，可输入样品信息或样品编号，以方便数据的分析比较，测试菜单可保存并后期调用。具备传感器阈值保护功能，试验过程中如果超过所设置阈值，自动报警并停止测试。

7、可升级能力：
7.1★要求化学机械抛光试验机配置的同一个软件上既有抛光测试功能又具有在线三维形貌测量功能；在机身上预留在线三维形貌的升级扩展安装接口，未来可升级安装在线三维形貌模块（非独立的形貌设备），实现三维形貌自动测试。

附件2-高精密四维力测量系统：

1．工作条件:

1.1电源: 220V (±10%) / 50Hz ；

1.2 主机功耗：≤3.0 kW；

1.3运行环境温度: 0-60°C；

1.4运行环境：在20 °C下，相对湿度≤80%，建议≤50% (无冷凝)；

2．设备用途：

2.1.可完成对科研团队所开发的精密成型设备的力学特性进行评价。

2.2.借助该系统还可以用于通用的动态力和准静态力测试，具有较广泛的适用性。

2.3.设备可用于本科生的教学实验，了解机械加工过程。

2.4.可以准确记录车削、铣削、磨削等各种加工过程中的切削力变化；

2.5.采集到的信号通过软件进行分析，为分析切削技术、优化切削参数、改进切削工艺提供重要的数据。

3.基本性能指标（优于或不低于下列指标）

★1）测量技术：压电技术

★2）测量分量：Fx，Fy，Fz，Mz
3）计算分量：Ft，Fr, Fa

4）最大转速： 16000rpm

5）测量范围：Fx，Fy：±5000N；Fz：±20000N；Mz：±150Nm

6）线性度：≤1%FSO

7）固有频率：Fx，Fy：2kHz；Fz：7kHz

8）测量通道：4通道

9）每通道采样率：10/5/2.5kHz可选

10）遥测技术：无线传输

11）传送距离：≤5m

12）分辨率：16bit

13）冷却方式：内部冷却

14）软件功能：FFT，低通滤波

15）主轴适配器适用性：可在同类型铣床、钻床以及三轴五轴加工中心共同使用

16）演示软件：配置和基本的数据记录功能，同时可以实时监控刀具磨损状态

17）清零功能：对末端工具重量的偏执设置