带头人:詹友基教授
针对包括超细晶硬质合金、半导体晶圆材料、工程陶瓷、光学零件等关键材料，开展以纳米级面形精度、超光滑表面和高使用性能的平面、曲面制造为目标，研究利用不同物理、化学原理的高效精密加工新工艺；高效精密加工过程中微观力、热、磁、光等的耦合作用机理，高效精密加工装备设计理论与方法等内容。
主要研究内容如下：
（1） 基于不同物理、化学原理的高效精密磨抛、特种加工等新工艺；
（2）高效精密加工过程中微观力、热、磁、光和化学反应等的耦合机理；
（3）加工过程中材料变形断裂传递基本规律；
（4）超光滑表面的形成机理研究与数值模拟，揭示多物理/化学场作用下材料的动态去除过程；
（5）材料加工表面完整性和误差演变的影响规律。